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超高壓泵與增壓器是超高壓發生設備的2種形式。我國標準把壓力大于100MPa的泵界定為超高壓泵。隨著技術的發展,超高壓水射流的壓力多在200MPa以上。
超高壓泵的特點是高壓控制、相對造價低,多用于300MPa以下壓力增壓器的特點是低壓控制,相對結構復雜,多用于200~420MPa壓力。
圖4-16所示為三柱塞超高壓泵,它與高壓泵的不同點在于超高壓帶來的液力端分體式特殊設計(如密封、閥組、液缸等)、特殊材料和特殊工藝。圖中進、出水閥組仍采用下導向錐閥;液力端的連接靜密封全部為球面線接觸密封;承壓零件凡有相貫孔處一定要設計適當半徑的過渡圓角;柱塞與動力端采用球面點接觸連接方式,以保證柱塞的對中性。該泵壓力300MPa。

由于超高壓柱塞泵的密封副軸向尺寸較長,摩擦生熱和抱軸現象都容易產生,因此泵速一般控制在150r/min左右,以利于泵的可靠運行。
當然,泵速偏低造成壓力脈動大,必須增加穩壓容器予以平抑。另外,超高壓泵對系統要求很高,如進水的水質與有壓供水、出水的壓力傳感器顯示、超壓報警和調壓等等。毫不夸張地說,超高壓泵就是一個完整的系統,每一個環節都必須重視,缺一都會影響系統的可靠使用。